微电子工业中低气压放电等离子体不稳性与控制的研究_全球热点评
来源：互联网 时间：2023-03-10 00:44:31
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1、 《微电子工业中低气压放电等离子体不稳性与控制的研究》是依托大连理工大学,由马腾才担任项目负责人的面上项目。
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